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論文・著書情報


タイトル
和文:双極型静電吸着デバイスの複曲面対応を目指したオーセティックパターンを用いた複曲面生成構造の開発 
英文: 
著者
和文: 吉本純平, 齋藤滋規, 祐樹 田岡.  
英文: Jumpei Yoshimoto, Shigeki SAITO, Yuki Taoka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会学術講演会講演論文集 
英文:精密工学会学術講演会講演論文集 
巻, 号, ページ Vol. 2023A        pp. 17-18
出版年月 2023年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023A.0_17

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