Development of a method for attaching thin films to curved surfaces using a bipolar electrostatic chuck with a collective beam structure

論文・著書情報

タイトル

和文:	Development of a method for attaching thin films to curved surfaces using a bipolar electrostatic chuck with a collective beam structure
英文:	Development of a method for attaching thin films to curved surfaces using a bipolar electrostatic chuck with a collective beam structure

著者

和文:	Yuki Taoka, 林輝道, 許三川, 齋藤滋規.
英文:	Yuki Taoka, Terumichi Hayashi, Sanchuan XU, Shigeki SAITO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Advanced Robotics
英文:	Advanced Robotics

巻, 号, ページ

Vol. 37 No. 23 pp. 1507-1519

出版年月

2023年11月

出版者

和文:	Taylor & Francis
英文:	Taylor & Francis

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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