Effect of Heat-Induced Adjustable Stiffness at the Contact Interface on the Gripping Force of a Bipolar Electrostatic Chuck

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Heat-Induced Adjustable Stiffness at the Contact Interface on the Gripping Force of a Bipolar Electrostatic Chuck

著者

和文:	齋藤滋規, Jeremy Gavriel, ZHOU Juntian, 田岡祐樹.
英文:	Shigeki Saito, Jeremy Gavriel, Juntian Zhou, Yuki Taoka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2023 MRS Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Boston