裏面露光によるサブミクロン直径のSU-8円柱構造の作製と蛍光観察

論文・著書情報

タイトル

和文:	裏面露光によるサブミクロン直径のSU-8円柱構造の作製と蛍光観察
英文:	Microfabrication and fluorescence imaging of sub-micron diameter SU-8 pillar using back-side exposure

著者

和文:	藤本美穂, 松谷晃宏.
英文:	Miho Fujimoto, Akihiro Matsutani.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2024年3月

出版者

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会議名称

和文:	第71回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 71th JSAP Spring Meeting 2024

開催地

和文:	東京都世田谷区
英文:	Setagaya, Tokyo Metropolitan area