Pre-training CNN for fast EUV lithography simulation including M3D effects

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pre-training CNN for fast EUV lithography simulation including M3D effects

著者

和文:	田邊容由, 神宮司明良, 高橋篤司.
英文:	Hiroyoshi Tanabe, Akira Jinguji, Atsushi Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE 12954, DTCO and Computational Patterning III, 129540I

巻, 号, ページ

出版年月

2024年4月10日

出版者

和文:
英文:	Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE)

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI