Achieving High Piezoelectric Performance in Tetragonal (Bi,Na)TiO3-BaTiO3 Films Across a Wide Composition Range for MEMS Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Achieving High Piezoelectric Performance in Tetragonal (Bi,Na)TiO3-BaTiO3 Films Across a Wide Composition Range for MEMS Applications

著者

和文:	石濱圭佑, 岡本一輝, 舘山明紀, 清水荘雄, Wakiko Yamaoka, Risako Tsurumaru, Shintaro Yoshimura, Yusuke Sato, 舟窪浩.
英文:	Keisuke Ishihama, Kazuki Okamoto, Akinori Tateyama, Takao Shimizu, Wakiko Yamaoka, Risako Tsurumaru, Shintaro Yoshimura, Yusuke Sato, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ACS Appl. Mater. Interfaces 2024

巻, 号, ページ

vol. 16 pp. 1308−1316

出版年月

2023年12月28日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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DOI