Characterization of Piezoelectric (K, Na)NbO3 Films for MEMS Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Piezoelectric (K, Na)NbO3 Films for MEMS Applications

著者

和文:	舟窪浩, 舘山明紀, 折野裕一郎, 伊東良晴, 白石貴久, 清水荘雄, 黒澤実.
英文:	Hiroshi Funakubo, Akinori Tateyama, Yuichiro Orino, Yoshiharu Ito, Takahisa Shiraishi, Takao Shimizu, Minoru Kurosawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年6月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ISAF 2023 (IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics)

開催地

和文:
英文:	Cleveland, Ohio