Stabilization and Identification of Ferroelectric HfO2 Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Stabilization and Identification of Ferroelectric HfO2 Thin Films

著者

和文:	舟窪浩, 高橋雄真, 白石貴久, 小寺正徳, 志村礼司郎, 三村和仙, 石濱圭佑, 岡本一輝, Hiroki Moriwake, Ayako Taguchi, 清水荘雄, Yasuhiro Fujii, Akitoshi Koreeda.
英文:	Hiroshi Funakubo, Yuma Takahashi, Takahisa Shiraishi, Kodera Masanori, Reijiro Shimura, Takanori Mimura, Keisuke Ishihama, Kazuki Okamoto, Hiroki Moriwake, Ayako Taguchi, Takao Shimizu, Yasuhiro Fujii, Akitoshi Koreeda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年10月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IWDTF2023 (2023 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices - Science and Technology)

開催地

和文:
英文:	Ishikawa