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論文・著書情報


タイトル
和文:集積メンブレンレーザのウェハレベル自動計測 
英文:Characterization of Integrated Membrane Laser by a Wafer-level Probing System 
著者
和文: 堀川剛, 吉田俊, 西山伸彦.  
英文: Tsuyoshi Horikawa, Suguru Yoshida, Nobuhiko Nishiyama.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:レーザ・量子エレクトロニクス研究会創立30周年 記念研究会講演予稿集 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2024年5月28日 
出版者
和文:電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会 
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会議名称
和文:電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会創立30周年 記念研究会 
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開催地
和文:那覇市 
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公式リンク https://www.ieice.org/~lqe/jpn/2024okinawa/
 
アブストラクト We developed a wafer-level probing system for integrated lasers. High reproducibility was confirmed in automatic continuous measurements of laser intensity-current-voltage characteristics, lasing spectrum, and small signal response for InP-based membrane lasers on a single wafer

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