Orientation Control of {100}-oriented Epitaxial Y-doped HfO2 Thin Films Using Lattice Matching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Orientation Control of {100}-oriented Epitaxial Y-doped HfO2 Thin Films Using Lattice Matching

著者

和文:	前川芳輝, 平井浩司, 岡本一輝, 清水荘雄, 舟窪浩.
英文:	Yoshiki Maekawa, Koji Hirai, Kazuki Okamoto, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年10月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IWDTF2023 (2023 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices - Science and Technology)

開催地

和文:
英文:	Ishikawa