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論文・著書情報
タイトル
和文:
スパッタリング法によるHfO2-CeO2強誘電体薄膜のYSZ基板上への非加熱合成
英文:
著者
和文:
舟窪浩
,
茶谷那知
,
平井浩司
,
安岡慎之介
,
岡本一輝
, 山岡和希子, 井上ゆか梨.
英文:
HIROSHI FUNAKUBO
,
Nachi Chaya
,
Koji Hirai
,
Shinnosuke Yasuoka
,
Kazuki Okamoto
, 山岡和希子, 井上ゆか梨.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2024年1月7日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第62回セラミックス基礎科学討論会
英文:
開催地
和文:
東京都
英文:
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