High stability of ferroelectricity against hydrogen gas in (Al,Sc)N thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High stability of ferroelectricity against hydrogen gas in (Al,Sc)N thin films

著者

和文:	Nana SUN, 岡本一輝, 安岡慎之介, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Soshun Doko, 舟窪浩.
英文:	Nana SUN, Kazuki Okamoto, Shinnosuke Yasuoka, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Soshun Doko, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年3月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第71回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京都
英文: