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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング法で作製した高Sc濃度ScGaN膜の圧電・強誘電特性 
英文: 
著者
和文: 上原雅人, 平田研二, 中村美子, 安岡慎之介, スリ アユ アンガライニ, 岡本一輝, 山田浩志, 舟窪浩, 秋山守人.  
英文: 上原雅人, 平田研二, 中村美子, Shinnosuke Yasuoka, スリ アユ アンガライニ, Kazuki Okamoto, 山田浩志, HIROSHI FUNAKUBO, 秋山守人.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2024年3月22日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第71回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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