Approach to Low Contact Resistance Formation on Buried Interface in Oxide Thin-Film Transistors: Utilization of Palladium-Mediated Hydrogen Pathway

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Approach to Low Contact Resistance Formation on Buried Interface in Oxide Thin-Film Transistors: Utilization of Palladium-Mediated Hydrogen Pathway

著者

和文:	ＳＨＩＹＵＨＡＯ, 辻昌武, Cho Hanjun, 上田茂典, 金正煥, 細野秀雄.
英文:	Yuhao Shi, Masatake Tsuji, Hanjun Cho, Shigenori Ueda, Junghwan Kim, Hideo Hosono.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ACS NANO

巻, 号, ページ

出版年月

2024年3月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI