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論文・著書情報
タイトル
和文:
[25a-P05-4] スパッタおよびイオン注入を用いた高品質(τeff > 10 ms) TOPCon構造の作製
英文:
著者
和文:
山口 昇
,
Li Shasha
,
宮島 晋介
.
英文:
Noboru Yamaguchi
,
SHASHA LI
,
Shinsuke Miyajima
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2024年3月25日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
英文:
開催地
和文:
東京
英文:
公式リンク
https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2024s
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