Material Property Control of Multi-layered Ti/Au Microcomponents by Electroplating Toward Ultra high-Sensitive MEMS Inertial Sensors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Material Property Control of Multi-layered Ti/Au Microcomponents by Electroplating Toward Ultra high-Sensitive MEMS Inertial Sensors

著者

和文:	曽根正人, Chang Tso-Fu Mark, 栗岡智行, 陳君怡, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博.
英文:	Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Tomoyuki Kurioka, Chun-yi Chen, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2024 ICGET-Tw

巻, 号, ページ

出版年月

2024年11月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2024 ICGET-Tw: The 2024 International Conference on Green Electrochemical Technologies and the 2024 Annual Meeting of Electrochemical Society of Taiwan

開催地

和文:
英文:	Taichun