Electron Temperature and Density Diagnosis in Argon Dual-Frequency ICP by Tomographic Optical Emission Spectroscopy and Langmuir Probe Measurements

論文・著書情報

タイトル

和文:	トモグラフィー発光分光法およびラングミュアプローブ計測によるアルゴン二周波誘導結合プラズマの電子温度と密度の診断
英文:	Electron Temperature and Density Diagnosis in Argon Dual-Frequency ICP by Tomographic Optical Emission Spectroscopy and Langmuir Probe Measurements

著者

和文:	叶宇晨, 土居謙太, 清田哲司, 渡邊修平, 島谷和希, 櫻井彩貴, 山下雄也, 菊地航行, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Yuchen Ye, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Shuhei Watanabe, Kazuki Shimatani, Ayaki Sakurai, Yuya Yamashita, Wataru Kikuchi, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第41回プラズマ・核融合学会年会オンライン予稿集
英文:	Extended Abstracts of the 41st Annual Meeting of JSPF

巻, 号, ページ

出版年月

2024年

出版者

和文:	一般社団法人プラズマ・核融合学会
英文:	The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research

会議名称

和文:	第41回プラズマ・核融合学会年会
英文:	The 41st annual meeting of The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo

公式リンク