（招待講演）Cat-CVD (Hot Wire CVD) 法による微結晶3C-SiC薄膜の作製 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	（招待講演）Cat-CVD (Hot Wire CVD) 法による微結晶3C-SiC薄膜の作製
英文:

著者

和文:	宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	Shinsuke Miyajima, AKIRA YAMADA, MAKOTO KONAGAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2004年3月4日

出版者

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会議名称

和文:	アモルファス・ナノ材料第１４７委員会研究会
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開催地

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