(We2d-O31-05) Super high-rate sputtering of high-quality hydrogenated amorphous silicon passivation layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	(We2d-O31-05) Super high-rate sputtering of high-quality hydrogenated amorphous silicon passivation layer

著者

和文:	LI SHASHA, 宮島晋介.
英文:	Shasha Li, Shinsuke Miyajima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年11月12日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 35th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-35)

開催地

和文:
英文:	Numaz