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論文・著書情報


タイトル
和文:先端メモリ技術に向けた強誘電体 AlScN 薄膜の高集積化と高信頼性に関する研究 
英文:Highly Reliable and Scalable Ferroelectric AlScN Thin Films for Future Advanced Memory Technology 
著者
和文: Chen Si-Meng.  
英文: Si-Meng Chen.  
種別
種別:学位論文(博士)論文要旨 
国名:日本 
言語 Japanese 
学位授与組織 東京科学大学 
報告番号  
学位授与日  
審査員  

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