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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Microfabrication of Black Ge by SF6/O2- and C4F8-based Deep Reactive Ion Etching 
著者
和文: 遠西 美重, 松下 祥子, 松谷 晃宏.  
英文: Mie Tohnishi, Sachiko Matsushita, Akihiro Matsutani.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Sensors and Materials 
巻, 号, ページ Vol. 37    No. 3    pp. 943-953
出版年月 2025年3月 
出版者
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会議名称
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開催地
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