Selective phase growth of ultra-smooth Ti2O3 and TiO2 thin films at low growth temperature controlled by the oxygen partial pressure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Selective phase growth of ultra-smooth Ti2O3 and TiO2 thin films at low growth temperature controlled by the oxygen partial pressure

著者

和文:	Jiayi Tang, Okkyun Seo, Jaemyung Kim, Ibrahima Gueye, L. S. R. Kumara, Ho Jun Oh, Wan-Gil Jung, Won-Jin Moon, Yong Tae Kim, Satoshi Yasuno, Tappei Nishihara, 吉本護, 松田晃史, 坂田修身.
英文:	Jiayi Tang, Okkyun Seo, Jaemyung Kim, Ibrahima Gueye, L. S. R. Kumara, Ho Jun Oh, Wan-Gil Jung, Won-Jin Moon, Yong Tae Kim, Satoshi Yasuno, Tappei Nishihara, Mamoru Yoshimoto, Akifumi Matsuda, Osami Sakata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Surface Science Advances

巻, 号, ページ

Volume 26

出版年月

2025年2月8日

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
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DOI