ICP放電窒素プラズマへのアルゴン混入による非平衡性の変化

櫻井 彩貴; 山下 雄也; YE YUCHEN; 島谷 和希; 福本 晃己; 根津 篤; 赤塚 洋

論文・著書情報

タイトル

和文:	ICP放電窒素プラズマへのアルゴン混入による非平衡性の変化
英文:	Changes in non - equilibrium properties due to argon contamination of ICP discharge nitrogen plasma

著者

和文:	櫻井彩貴, 山下雄也, YE YUCHEN, 島谷和希, 福本晃己, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Ayaki Sakurai, Yuya Yamashita, Yuchen Ye, Kazuki Shimatani, Koki Fukumoto, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	令和 7 年電気学会全国大会講演論文集
英文:	Proceedings of the 2025 Annual Meeting IEE of Japan

巻, 号, ページ

p. 62

出版年月

2025年3月1日

出版者

和文:	一般社団法人電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:	令和 7 年電気学会全国大会
英文:	The 2025 Annual Meeting IEE of Japan

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo

アブストラクト

本研究では，窒素プラズマへのアルゴン添加がプラズマ状態に及ぼす影響を解明することを目的とし，アルゴンを混合した窒素プラズマ中の窒素分子の回転温度および振動温度を分光法を用いて測定した。窒素プラズマは誘導結合プラズマ放電により生成し，アルゴン添加プラズマ中の窒素分子からの発光スペクトルを分光計により取得した。得られたスペクトルを理論的に計算したスペクトルにフィッティングすることにより，窒素分子の回転温度および振動温度を算出した。さらに，アルゴンの混入率および印加電力を変化させて測定を行い，回転温度および振動温度の二次元分布を評価した。

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