微小材料評価技術を用いたMEMS部材の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	微小材料評価技術を用いたMEMS部材の評価
英文:	Material Evaluation of MEMS Components by Micro-material Testing

著者

和文:	名越貴志, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人.
英文:	Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本金属学会誌
英文:	Journal of the Japan Institute of Metals and Materials

巻, 号, ページ

Volume 89 Number 6 Page 211-216

出版年月

2025年6月1日

出版者

和文:	日本金属学会誌
英文:	日本金属学会誌

会議名称

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開催地

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