High stability of ferroelectricity against hydrogen gas in (Al,Sc)N thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High stability of ferroelectricity against hydrogen gas in (Al,Sc)N thin films

著者

和文:	Nana Sun, 岡本一輝, 安岡慎之介, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, 恒川孝二, 道古宗俊, 舟窪浩.
英文:	Nana Sun, Kazuki Okamoto, Shinnosuke Yasuoka, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Soshun Doko, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

24a-12H-3

出版年月

2024年3月24日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第71回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 71st JSAP Spring Meeting

開催地

和文:
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