薄膜化した (Al1-xScx)N膜における結晶性・強誘電特性のSc組成比依存性

論文・著書情報

タイトル

和文:	薄膜化した (Al1-xScx)N膜における結晶性・強誘電特性のSc組成比依存性
英文:	Dependence of crystallinity and ferroelectricity on Sc content in thin (Al1-xScx)N films

著者

和文:	道古宗俊, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二, Nana Sun, 中村美子, 岡本一輝, 舟窪浩.
英文:	Soshun Doko, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Nana Sun, Yoshiko Nakamura, Kazuki Okamoto, Hiroshi Funakubo.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

15a-K503-4

出版年月

2025年3月15日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第72回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 72nd JSAP Spring Meeting

開催地

和文:
英文: