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論文・著書情報


タイトル
和文:α-Ga2O3 導波路作製に向けたPECVD 成膜 a-C:H 膜のAr プラズマエッチング耐性評価 
英文: 
著者
和文: 飯嶋 航大, 谷口 公太, 大槻秀夫, 神野 莉衣奈, 遠西美重, 松谷晃宏, 太田 泰友, 岩本 敏.  
英文: 飯嶋 航大, 谷口 公太, Hideo Ohtsuki, 神野 莉衣奈, Mie Tohnishi, Akihiro Matsutani, 太田 泰友, 岩本 敏.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         16a-K403-2
出版年月 2025年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:2025 年第72 回 応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
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