Effects of thickness scaling on switching kinetics in (Al,Sc)N ferroelectric films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of thickness scaling on switching kinetics in (Al,Sc)N ferroelectric films

著者

和文:	Nana Sun, 岡本一輝, 道古宗俊, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, 恒川孝二, 舟窪浩.
英文:	Nana Sun, Kazuki Okamoto, Soshun Doko, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2025年3月14日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第72回応用物理学会春季学術講演会
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開催地

和文:	千葉県野田市
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