Phase identification of 850-nm-thick 7%YO1.5-93%HfO2 films by surface and cross-sectional Raman spectroscopies

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Phase identification of 850-nm-thick 7%YO1.5-93%HfO2 films by surface and cross-sectional Raman spectroscopies

著者

和文:	三村和仙, 高橋雄真, 白石貴久, 小寺正徳, 志村礼司郎, 石濱圭佑, 岡本一輝, 森分博紀, Ayako Taguchi, 清水荘雄, Yasuhiro Fujii, Akitoshi Koreeda, 舟窪浩.
英文:	Takanori Mimura, Yuma Takahashi, Takahisa Shiraishi, Masanori Kodera, Reijiro Shimura, Keisuke Ishihama, Kazuki Okamoto, Hiroki Moriwake, Ayako Taguchi, Takao Shimizu, Yasuhiro Fujii, Akitoshi Koreeda, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ACS Applied Electronic Materials

巻, 号, ページ

Vol. 6 No. 4 pp. 2500-2506

出版年月

2024年3月19日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI