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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Enhanced attractive force via torsion spring as rotatable tip structure in beam-structure electrostatic chucks 
著者
和文: 許 三川, 田岡 祐樹, 齋藤 滋規.  
英文: Sanchuan Xu, Yuki Taoka, Shigeki Saito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:Results in Engineering 
英文:Results in Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 24        pp. 103365
出版年月 2024年 
出版者
和文:Elsevier 
英文:Elsevier 
会議名称
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開催地
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