弾性梁構造由来の柔軟性を持つ静電吸着装置とその真空対応設計・製作及び性能評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	弾性梁構造由来の柔軟性を持つ静電吸着装置とその真空対応設計・製作及び性能評価
英文:	Development of an Electrostatic Chuck with a Compliant Beam Structure Using Vacuum- Compatible Materials

著者

和文:	後藤亜花里, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
英文:	Akari Goto, Yuki Taoka, Shigeki Saito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2025年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	IIP2025 情報・知能・精密機器部門(IIP 部門)講演会
英文:

開催地

和文:	山口
英文: