集合配列電極型静電チャックにおける電極支持弾性部材の形状が吸着・離脱性能に与える影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	集合配列電極型静電チャックにおける電極支持弾性部材の形状が吸着・離脱性能に与える影響
英文:	Effect of Elastic Supporting Component Shape on Adhesion and Detachment Performance in Array-Electrode-Type Electrostatic Chucks

著者

和文:	二木結子, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
英文:	Yuiko Futagi, Yuki Taoka, Shigeki Saito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2025年3月

出版者

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会議名称

和文:	IIP2025 情報・知能・精密機器部門(IIP 部門)講演会
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開催地

和文:	山口
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