曲面形状適応機構と統合した集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスの安定的な曲面貼付の手法提案 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	曲面形状適応機構と統合した集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスの安定的な曲面貼付の手法提案
英文:

著者

和文:	片桐涼太, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
英文:	Ryota Katagiri, Yuki Taoka, Shigeki Saito.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2025年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2025年度精密工学会春季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	千葉
英文:

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