High Speed Nickel Electrodeposition in a Supercritical CO2 Emulsified Nickel Sulfamate Bath toward MEMS Application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Speed Nickel Electrodeposition in a Supercritical CO2 Emulsified Nickel Sulfamate Bath toward MEMS Application

著者

和文:	侯文鼎, 栗岡智行, 陳君怡, 曽根正人, Chang Tso-Fu Mark.
英文:	Wending Hou, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2025年9月

出版者

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会議名称

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英文:	51st International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2025)

開催地

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