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論文・著書情報


タイトル
和文:OFDR法を用いたウェーハレベル光集積デバイス特性検査(2) ‐透過及び反射プロファイルに見られる導波路多重反射の定式化‐ 
英文: 
著者
和文: 堀川 剛, 西山 伸彦.  
英文: Tsuyoshi Horikawa, Nobuhiko Nishiyama.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第８６回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2025年9月7日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第８６回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:名古屋 
英文: 

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