EUVリソグラフィシミュレーション高速化のための CNN学習用カーブリニアマスクパターン生成

論文・著書情報

タイトル

和文:	EUVリソグラフィシミュレーション高速化のための CNN学習用カーブリニアマスクパターン生成
英文:	Curvilinear Mask Pattern Generation for CNN Training to Accelerate EUV Lithography Simulation

著者

和文:	杉山萌, 田邊容由, 下田将之, 高橋篤司.
英文:	Moe Sugiyama, Hiroyoshi Tanabe, Masayuki Shimoda, Atsushi Takahashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	DAシンポジウム2025 論文集
英文:	Proc. DA Symposium 2025, IPSJ Symposium Series

巻, 号, ページ

pp. 106-112

出版年月

2025年8月

出版者

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会議名称

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開催地

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