Warpage Suppression and Device Characteristics of Gold Single-Axis Circular Proof-mass MEMS Capacitive Accelerometer Authors Information

論文・著書情報

タイトル

和文:	Warpage Suppression and Device Characteristics of Gold Single-Axis Circular Proof-mass MEMS Capacitive Accelerometer Authors Information
英文:	Warpage Suppression and Device Characteristics of Gold Single-Axis Circular Proof-mass MEMS Capacitive Accelerometer Authors Information

著者

和文:	Masako Okumura, Tomoyuki Kurioka, Torauto Yamada, Tatsuhiko Mori, Tso-Fu Mark Chang, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito, Masato Sone, Katsuyuki Machida.
英文:	Masako Okumura, Tomoyuki Kurioka, Torauto Yamada, Tatsuhiko Mori, Tso-Fu Mark Chang, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito, Masato Sone, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2025年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2025)
英文:	International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2025)

開催地

和文:
英文:	Tokyo