静電容量型MEMS加速度センサにおける金錘の形状による反り抑制の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	静電容量型MEMS加速度センサにおける金錘の形状による反り抑制の検討
英文:

著者

和文:	奥村雅子, 栗岡智行, 森達彦, 山田虎人, 向出隼人, Chun Yi-Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	奥村雅子, Tomoyuki Kurioka, Tatsuhiko Mori, Torauto Yamada, 向出隼人, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2025年10月

出版者

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会議名称

和文:	第17回集積化MEMSシンポジウム
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開催地

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