静電容量型MEMS加速度センサに向けたTi/Au積層マイクロカンチレバーの実効ヤング率に対するアニーリングの影響評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	静電容量型MEMS加速度センサに向けたTi/Au積層マイクロカンチレバーの実効ヤング率に対するアニーリングの影響評価
英文:

著者

和文:	森達彦, 栗岡智行, 渡邉春海, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Shunkai Watanabe, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2025年10月

出版者

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会議名称

和文:	第17回集積化MEMSシンポジウム
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開催地

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