Spatially-Resolved Measurements Of Electron Temperature And Density Of Oxygen ICP By Tomographic Emission Spectroscopy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Spatially-Resolved Measurements Of Electron Temperature And Density Of Oxygen ICP By Tomographic Emission Spectroscopy

著者

和文:	何文涛, 清田哲司, 土居謙太, 小関智光, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Wentao He, Tetsuji Kiyota, Kenta Doi, Tomomitsu Ozeki, Atsusi Nezu, Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Program Book of AEPSE2025

巻, 号, ページ

p. 81

出版年月

2025年11月2日

出版者

和文:
英文:	International Scientific Committee ofAEPSE2025

会議名称

和文:
英文:	The 14th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2025)

開催地

和文:	プーケット
英文:	Phuket

公式リンク