High-Efficiency Vertical Coupler between Si and Low-index (~1.6) SiON Waveguide with Low Polarization Dependance Loss

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-Efficiency Vertical Coupler between Si and Low-index (~1.6) SiON Waveguide with Low Polarization Dependance Loss

著者

和文:	陳浩宇, MOATAZ Shaher Anis Mahmoud Eissa, 姚凱繽, 堀川剛, 川原啓輔, 西山伸彦.
英文:	Haoyu Chen, Moataz Eissa, Kaibin Yao, Tsuyoshi Horikawa, Keisuke Kawahara, Nobuhiko Nishiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2026年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 73rd JSAP Spring Meeting 2026

開催地

和文:
英文:	Tokyo