"高畑 寿志,栗岡 智行,山田 虎人,町田 克之,Tso-Fu Mark Chang,三宅 美博,伊藤 浩之,曽根 正人","Ti/Auで形成した九十九折ばねにおけるTi膜のばね形状への影響に関する検討","第17回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2025,Nov.