"高畑 寿志,栗岡 智行,山田 虎人,向出 千隼,町田 克之,Chen Chun-Yi,Chang Tso-Fu Mark,三宅 美博,伊藤 浩之,曽根 正人","Ti/Au積層九十九折ばねのばね定数に対するTi/Au膜厚の影響評価","第73回応用物理学会春季学術講演会","第73回応用物理学会春季学術講演会",,,,,2026,Mar. "高畑 寿志,栗岡 智行,山田 虎人,町田 克之,Tso-Fu Mark Chang,三宅 美博,伊藤 浩之,曽根 正人","Ti/Auで形成した九十九折ばねにおけるTi膜のばね形状への影響に関する検討","第17回集積化MEMSシンポジウム",,,,,,2025,Nov.