"大森 康生,Li Shasha1,宮島 晋介","[24p-12M-10] アモルファスSiのスパッタとスピンオンドーピングによる高品質正孔選択性コンタクトの形成","2024年第71回応用物理学会春季学術講演会",,,,,,2024,Mar.