"小山浩司","ワイドバンドギャップ結晶基板における内部応力と表面性状の制御に関する研究",,,,,,,2022,Sept. "小山浩司","ワイドバンドギャップ結晶基板における内部応力と表面性状の制御に関する研究",,,,,,,2022,Sept. "小山浩司","ワイドバンドギャップ結晶基板における内部応力と表面性状の制御に関する研究",,,,,,,2022,Sept.