@inproceedings{CTT100869419,
  author = {駒田ひろ and 田岡祐樹 and 宝田亘 and 齋藤滋規},
  title = {微細毛静電チャックの表面柔軟性確保のためのシート状交互五層（導電層、絶縁層）高分子複合材料の開発},
  booktitle = {2022年度精密工学会春季大会学術講演会論文集},
  year = 2022,
}