@inproceedings{CTT100851711, author = {清水健人 and 全俊豪 and 竹内希}, title = {大気圧誘電体バリア放電を用いた窒化マグネシウム合成条件による影響}, booktitle = {令和2年電気学会全国大会予稿集}, year = 2020, }