@inproceedings{CTT100848908, author = {高山 研 and 太田 貴士 and 佐々木 満孝 and 向井 勇人 and 濱田 拓也 and 高橋 言雄 and 井出 利英 and 清水 三聡 and 星井 拓也 and 角嶋 邦之 and 若林 整 and 筒井 一生}, title = {選択成長法を用いたGaN FinFETの作製:リーク電流抑制の改良}, booktitle = {}, year = 2020, }