論文

• 伊藤隆司, 杉野林志, 石川健治. ライ洗浄技術―半導体製造―, 精密工学会誌, 社団法人精密工学会, Vol. 70, No. 7, pp. 894-897, July 2004.
• 伊藤隆司, 杉野林志, 石川健治. ドライ洗浄技術―半導体製造―, 精密工学会誌, 精密工学会, Vol. 70, No. 7, pp. 894-897, July 2004.

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