@inproceedings{CTT100502171,
  author = {瀬野 千晶 and 矢野哲司 and 柴田修一},
  title = {有機・無機ハイブリッド膜のエッチング特性},
  booktitle = {日本セラミックス協会2004年年会予稿集},
  year = 2004,
}