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研究業績一覧 (1件)
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国際会議発表 (査読なし・不明)
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K. Tuokedaerhan,
Shuhei Hosoda,
Kuniyuki KAKUSHIMA,
パールハットアヘメト,
片岡好則,
Akira Nishiyama,
Nobuyuki Sugii,
KAZUO TSUTSUI,
Kenji Natori,
takeo hattori,
HIROSHI IWAI.
Work Function Extraction of W,Ta and Ti Carbides Formed by Multi Stacked Process,
Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37),
2013.
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